產(chǎn)品參數(shù) 品牌：超寶 加工定制：是 機器類型：加香機 用途：家用 原理：超聲波 產(chǎn)品特點 某光學器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應(yīng)用于光學器件精密加工, 通過蝕刻工藝提高光學器件的聚酰亞胺薄膜的表面光潔度. Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術(shù)參數(shù) Φ4 inch X 12片 基片尺寸 Φ4 inch X 12片 Φ5 inch X 10片 Φ6 inch X 8片 均勻性 ±5% 硅片刻蝕率 20 nm/min 樣品臺 直接冷卻,水冷 離子源 Φ20cm 考夫曼離子源 Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構(gòu)件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220 伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù): 離子源型號 RFICP 220 Discharge RFICP 射頻 離子束流 >800 mA 離子動能 100-1200 V 柵極直徑 20 cm Φ 離子束 聚焦, 平行, 散射 流量 10-40 sccm 通氣 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 典型壓力 < 0.5m Torr 中和器 LFN 2000 采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 可以使 PV、RMS分別為1.347μm和340nm的粗糙表面, 通過蝕刻其粗糙度可降低至75nm和13nm; PV、RMS分別為61nm和8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm和1nm. 該刻蝕工藝能有效提高光學器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度. 若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 : 上海伯東 : 羅先生 伯東 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！ 產(chǎn)品實拍 伯東企業(yè)（上海）有限公司 高低溫試驗箱 離子源 制冷劑 真空閥門 公司簡介 伯東公司成立于1953 年，*范圍內(nèi)有一千七百名員工。
伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團年營業(yè)額約為100億*。
伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供*一流的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
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