? ??手動探針臺結構特點是以右方臺面手柄的移動控制被測試芯片的移動，以左方旋鈕的旋轉控制芯片的高度和旋轉。
1、技術性能指標： 測試芯片*尺寸：4英寸。
片臺X軸、Y軸行程各是110mmm。
片臺Z軸高度行程*6mm。
配置 4～100倍體式顯微鏡，具有環(huán)行燈照明裝置。
配備6個探針架。
具有手動打點功能，配備1個打點器。
?探針臺主體結構 1底座、2承片臺、3片臺移動手柄、4探針和打點器安裝盤、5顯微鏡支架、6片臺高度手柄、7片臺轉動手輪、8、真空接口 ?各部功能介紹： 底座—是機器的基礎，承片臺、移動機構等都裝在其上。
承片臺—用來放置被測試的芯片。
片臺移動手柄—在底座上移動此手柄就可以使承片臺沿X軸、Y軸移動，移動范圍在110mm內。
探針架和打點器安裝盤—用來安裝探針架和打點器的固定盤狀物。
顯微鏡支架—用來安裝顯微鏡的固定架，它上面有兩個鎖緊手柄和一個調節(jié)螺釘，用來調節(jié)顯微鏡的位置。
片臺高度手柄—旋轉此手柄，承片臺即上下移動，范圍是6mm。
片臺轉動手輪—轉動手輪，片臺可轉動一個角度。
范圍是±30°。
電器接口—供打點器、環(huán)形燈工作的電器插座。
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