產(chǎn)品描述: 半導(dǎo)體、石油、化工、光伏、液晶等行業(yè),如機(jī)械零件、電子零件、微波感應(yīng)盤、絕緣材料等零件、半導(dǎo)體器件,真空設(shè)備,液晶制造設(shè)備及其他零部件。
大尺寸高純氧化鋁陶瓷在藍(lán)寶石行業(yè)和半導(dǎo)體芯片行業(yè)具有重要的應(yīng)用價值。
是藍(lán)寶石和半導(dǎo)體硅晶圓化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)關(guān)鍵支撐件及耗材。
大尺寸高純氧化鋁陶瓷被用做LCD用氧化鋁基板。
? 產(chǎn)品特點(diǎn): 高純氧化鋁研磨盤,鋁含量99.7%-99.9% 機(jī)械強(qiáng)度高、高耐磨性、高電絕緣、高化學(xué)穩(wěn)定性、良好的耐熱性和耐腐蝕性。
目前,采用陶瓷研磨盤研磨半導(dǎo)體硅片是較優(yōu)越前沿的研磨方法。
采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進(jìn)行研磨,通過改善研磨工藝(磨盤材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等)來提高研磨片的質(zhì)量;尤其是使用陶瓷盤代替鑄鐵盤,避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染,減少了金屬離子的引入,可減少硅片的后續(xù)加工量,縮短了后續(xù)工序(腐蝕)時間,提高了生產(chǎn)效率,而且減少了硅片加工的損耗,大大的提高了硅片的利用率。
? 產(chǎn)品規(guī)格: 850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤、圓環(huán)(尺寸可以定制) 萍鄉(xiāng)順鵬還可以生產(chǎn)以下規(guī)格的高純陶瓷: 1、1500×600×25mm以下的長板、長條、方板、薄板; 2、1000×45×45mm以下的導(dǎo)軌; 3、300∽600×長500mm以內(nèi)的空管、圓柱體、電真空管等。
4、可以定制各種形狀和規(guī)格的高純氧化鋁陶瓷產(chǎn)品。
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