? ??分析型探針臺 ?太陽能電池測試探針臺 ?一、基本配置信息: 1.探針臺本體: * Analysis 6" Probe Station(分析型6"探針臺)(可選8”、12”) * 6" vacuum chuck(6"真空卡盤))(可選8”、12”) * Ball screw drived chuck stage (滾珠絲桿精密調(diào)節(jié)平臺) * Chuck stage tr*el X,Y 150mm (卡盤平臺X,Y行程150mm) 根據(jù)需求行程可選200mm(APS 200型)或其它 * Manual chuck theta adjustment (手動卡盤旋轉(zhuǎn)調(diào)整)精度:+/-0.1度(旋轉(zhuǎn)) * Chuck up-down 5mm (卡盤升降5mm行程) 升降臺調(diào)節(jié)精度:15度,;4mm,+/-1um(垂直) * Microscope stage tr*el X,Y 25mm(顯微鏡載物臺X,Y行程25毫米)。
調(diào)節(jié)精度:+/-1um ? 2.探針座:DC Probe Head 探針座(可選其它精度探針座及RF高頻探針座) * Foot dimension(底部尺寸) ? ? ? ? ?70 x 35mm * Tr*el range(X,Y軸行程范圍) ? ? ? 12mm * Tr*el range(Z軸行程范圍) ? ? ? ? 12mm * Feature Resolution(精度) ? ? ? ? ? 1um * Vacuum base(磁吸附) 注:磁吸附系配置*設(shè)計開關(guān)磁吸裝置;可選擇真空吸附; 仰角*置,可對夾持的探針進行仰角角度的調(diào)節(jié); ? 3. 顯微鏡:Microscope System for High Magnification? 高倍率顯微鏡系統(tǒng) * Magnification up to 500X(放大倍率500X) 注:可選更高倍率鏡頭,如:100X物鏡,即總倍率1000X 標簽: ? ? 深圳市太陽能電池 ? 深圳市太陽能電池廠家

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