? 高精度激光位移傳感器是利用幾何三角原理，通過測量傳感器發(fā)射的激光光束， ? ? ? 被被測物體表面反射回來，在傳感器內(nèi)部的PSD（光敏位置器件）或線陣CCD上 ? ? ? 的成像位 置來計算目標物距離的系統(tǒng)。
? ? 激光位移傳感器主要用于短距離、高精度測量，其系統(tǒng)測量精度可達1um， ? ? ? ? 分辨率0.1um，滿量程線性度0.1%。
激光位移傳感器可對被測量物體的位置、 ? ? ? ? 位移等變化實現(xiàn)非接觸測量，其主要應(yīng)用于檢測物的位移、厚度、振動、距離、 ? ? ? 直徑等幾何量的測量。
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