特點和優(yōu)勢： 結(jié)構(gòu)簡明，使用便捷，造就成功 集成*先進的技術(shù)于一體 堅固而可靠的設(shè)計 好的性能價格比 駐地的配件供應(yīng)與服務(wù) *范圍的杰出的產(chǎn)品支持團隊 產(chǎn)品命名規(guī)則： 類型一：NEO ABC AB——可加工晶圓尺寸：20：6吋與8吋；30：8吋與12吋 C——等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP 類型二：NEO ABCD A——可加工晶圓尺寸：2：6吋與8吋；3：8吋與12吋 B——腔體數(shù)量 C——左側(cè)腔體等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP D——右側(cè)腔體等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP 與普通等離子清洗機的區(qū)別： 1.TRYMAX設(shè)備具有更高的精度控制和均勻性控制 2.TRYMAX設(shè)備的等離子體屬于各向同性等離子體，執(zhí)行的輕度灰化 主要使用場景： 1. 實際上可以應(yīng)用到半導(dǎo)體加工的前、后道工序。
但是，由于傳統(tǒng)思想約束，亞洲地區(qū)只用于后道工序。
在歐美，前道工序的應(yīng)用案例還是很多。
2. 目前在后道工序中必須使用的場景是光刻（黃光工藝）之后和金屬鍍層之前。
其它更多的應(yīng)用需要根據(jù)用戶和使用體驗。
3. 更多客戶需要改善表面質(zhì)量，提高后續(xù)工藝可靠性的環(huán)節(jié)。
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