一種二氧化釩薄膜的制備方法,屬于材料技術(shù)領(lǐng)域。
本發(fā)明利用無機(jī)物偏釩酸鹽作為釩源,通過添加水溶性聚合物和絡(luò)合穩(wěn)定劑形成均一長期穩(wěn)定的釩前驅(qū)體溶液;利用所述釩前驅(qū)體溶液經(jīng)旋涂、高溫?zé)崽幚慝@得二氧化釩薄膜。
本發(fā)明能夠獲得結(jié)構(gòu)、性能良好的二氧化釩薄膜,同時能夠克服傳統(tǒng)化學(xué)溶液法制備二氧化釩薄膜過程中有機(jī)金屬鹽的水解程度不可控、有機(jī)金屬釩鹽溶液不穩(wěn)定所導(dǎo)致的工藝可控性和重復(fù)性較差的技術(shù)問題。
一種二氧化釩薄膜的制備方法,包括以下步驟:步驟1:配制無機(jī)偏釩酸鹽聚合物溶液;首先將帶有*或者亞*的水溶性聚合物溶于水,得到溶液A;然后往溶液A中加入無機(jī)偏釩酸鹽,攪拌至完全溶解,得到黃棕色溶液B;最后往溶液B中加入具有羧基基團(tuán)的絡(luò)合劑,超聲、攪拌至溶液澄清透明,得到無機(jī)偏釩酸鹽聚合物溶液C;步驟2:采用超濾裝置,濾去無機(jī)偏釩酸鹽聚合物溶液C中游離的離子,并采用蒸發(fā)的方式除去溶液中的部分水以濃縮溶液,得到釩的聚合物前驅(qū)溶液;步驟3:將步驟2所得釩的聚合物前驅(qū)溶液旋涂于清潔的基片表面;步驟4:將旋涂了步驟2所得釩的聚合物前驅(qū)溶液的基片置于400~800℃的環(huán)境中、并在還原氣氛下熱處理1小時以上,冷卻后得到最終的二氧化釩薄膜。
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