? ? ?近年來(lái),靶材價(jià)格/批發(fā),中國(guó)國(guó)內(nèi)不少?gòu)S商在這一領(lǐng)域投入不斷加大,也陸續(xù)涌現(xiàn)了山東孚日光伏、漢能控股集團(tuán)、天津泰陽(yáng)光電、蘇州高賽太陽(yáng)能等一批企業(yè)。
產(chǎn)業(yè)應(yīng)用方面,也出現(xiàn)了文頭所講的云南石林1兆瓦級(jí)薄膜太陽(yáng)能電站項(xiàng)目,靶材價(jià)格/直銷,不過(guò)這足以令中國(guó)太陽(yáng)能光伏行業(yè)信心振奮的項(xiàng)目,卻因?yàn)楹诵募夹g(shù)來(lái)自德國(guó),而令國(guó)內(nèi)頻頻在這一領(lǐng)域“放衛(wèi)1星”,但遲遲不見(jiàn)實(shí)質(zhì)性進(jìn)展的諸多廠商尷尬不已。
? ? 在中國(guó)市場(chǎng)拔得頭籌的Manz集團(tuán)的CIGS技術(shù)究竟有何獨(dú)到之處呢?筆者深入考究之后梳理出如下思路。
Manz集團(tuán)雖然成立于1987年,但就該集團(tuán)的CIGS技術(shù)而言,可以追溯到1975年。
彼時(shí)斯圖加特大學(xué)電子物理研究機(jī)構(gòu)即以開啟CIGS技術(shù)實(shí)驗(yàn)室研究,至今已經(jīng)累積了相當(dāng)豐富的知識(shí)。
與沒(méi)有任何技術(shù)底蘊(yùn),半路出家的中國(guó)企業(yè)而言,數(shù)十年的沉淀,使得Manz集團(tuán)在CIGS領(lǐng)域里保有歷史且具深厚扎實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。
真空陰極電弧沉積,俗稱多弧鍍。
優(yōu)點(diǎn):離化率高,離子流密度大,離子流能量高,沉積速率快,膜基結(jié)合力好,利用固體靶材,沒(méi)有熔池,靶材可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻,可以沉積金屬膜、合金膜,也可以反應(yīng)鍍合成各種化合物膜(氮化物、碳化物、氧化物),甚至可以合成DLC膜、CNx膜等,設(shè)備操作簡(jiǎn)單,技術(shù)易于推廣。
美中不足的是,在沉積時(shí),從靶材表面飛濺出微細(xì)顆粒,在所鍍膜層中冷凝使膜層粗糙度增加。
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