? ? ?廣州市尤特新材料有限公司是一家扎根于電子信息材料行業(yè)的高新技術(shù)企業(yè),平潭縣合金靶材,以生產(chǎn)信息存儲(chǔ)記錄材料為起點(diǎn),順延產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的方向,深耕產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的潛力,經(jīng)過11年的開拓已發(fā)展成為擁有電子漿料(金屬鍍膜技術(shù))、金屬薄膜靶材(真空鍍膜靶材技術(shù))信息存儲(chǔ)記錄材料(激光讀寫光盤生產(chǎn)技術(shù))、工程塑料(PC再生造粒及改性技術(shù))、觸控顯示材料(手機(jī)、平板觸摸屏材料)、石墨烯材料(導(dǎo)電、散熱)、UV化工材料(UV油墨、UV電子膠粘劑)這七大核心技術(shù)為中心的產(chǎn)業(yè)集團(tuán)。
? ? ? 磁控濺射鍍膜是一種新型的物理-氣相鍍膜方式,錫合金靶材,2013年的蒸發(fā)鍍膜方式,其很多方面的優(yōu)勢相當(dāng)明顯。
作為一項(xiàng)已經(jīng)發(fā)展的較為成熟的技術(shù),磁控濺射已經(jīng)被應(yīng)用于許多領(lǐng)域。
? ? ?濺射技術(shù)。
濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,它利用離子源產(chǎn)生的離子,在真空中經(jīng)過加速而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,高溫合金靶材,稱為濺射靶材。
各種類型的濺射薄膜材料無論在半導(dǎo)體集成電路、記錄介質(zhì)、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。
? ? 廣州市尤特新材料有限公司是一家扎根于電子信息材料行業(yè)的高新技術(shù)企業(yè),以生產(chǎn)信息存儲(chǔ)記錄材料為起點(diǎn),順延產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的方向,深耕產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的潛力,經(jīng)過11年的開拓已發(fā)展成為擁有電子漿料、金屬薄膜靶材信息存儲(chǔ)記錄材料、工程塑料、觸控顯示材料、石墨烯材料、UV化工材料這七大核心技術(shù)為中心的產(chǎn)業(yè)集團(tuán)。
????也有人采用射頻濺射技術(shù)以Ti為靶材制備TiO2薄膜。
射頻濺射時(shí)采用的氣氛為O2和Ar的混合氣體,通過控制壓力控制所得薄膜的相態(tài);對(duì)于一些特殊基體,還要考慮薄膜與基體之間的附著性能,根據(jù)基體的性質(zhì)采取相應(yīng)的工藝;實(shí)際生產(chǎn)中,在低成本前提下大規(guī)模鍍膜,要求較高的沉積速率,射頻濺射沉積速率很低,不適合大規(guī)模生產(chǎn)。
????與以Ti為靶材相比,以TiO2為靶材,鎳合金靶材,可將復(fù)雜的反應(yīng)過程轉(zhuǎn)化為較簡單的物理過程。
TiO2靶材通常導(dǎo)電性很差,由于一定的濺射速率需要一定的工作電流,若用直流濺射,則需大幅度提高直流濺射電源的電壓來彌補(bǔ)靶材導(dǎo)電性不足引起的電壓降。
射頻濺射對(duì)靶材的導(dǎo)電性沒有要求,適用于各種金屬和非金屬材料,因此,射頻濺射法的應(yīng)用比較廣泛。
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