EV-246小型電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)

真空腔室：1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)；

真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國產(chǎn)可選）；

極限真空：優(yōu)于8?10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
基片臺(tái)：可拆卸式，尺寸60?60mm，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至300℃（可選水冷功能）；
蒸發(fā)源及電源：水冷銅電極3組，逆變式蒸發(fā)電源，功率2KW，配源間防污隔板；
膜厚監(jiān)控儀：采用國產(chǎn)或進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空；
整機(jī)尺寸：L60cm?W60cm?H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口。