PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，所以這個系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。

　　該型號PECVD為單溫區(qū)系列最新款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。
而且控制部分采用了維意自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強(qiáng)大。

　　主要特點(diǎn)：

　　1. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制;

　　2. 管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。

　　3. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力;

　　4. 射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運(yùn)行;

　　5. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離;

　　6. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。