源瓶特點(diǎn):
1、所有管件采用316L不銹鋼,內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光,Ra≦0.25微米;
2、閥門有美國(guó)世偉洛克波紋管密封閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥供選擇;
3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片;
4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
5、可盛裝化學(xué)品純度≧99.9995;
6、總殘余元素量≦50PPb;
7、介質(zhì),TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
8、可選擇氣動(dòng)閥門或者實(shí)現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等;
9、可提供非標(biāo)定做。