真空吸附卡盤(pán)

• 不銹鋼卡盤(pán)臺(tái)尺寸4"，平整度5μm，帶3個(gè)真空吸附孔
• 不銹鋼卡盤(pán)臺(tái)尺寸6"、8"、12"，平整度5μm，帶4個(gè)真空吸附孔
• 靜音無(wú)油氣泵，7 升 / 分鐘，可連續(xù)工作

  恒溫真空吸附卡盤(pán)

  • 鋁合金盤(pán)臺(tái)尺寸4"、6"、8"，平整度5μm。
    
  • 帶3-4個(gè)真空吸附孔
  • 靜音無(wú)油氣泵，7 升 / 分鐘，可連續(xù)工作
  • 可通水或氣體循環(huán)冷卻
  • 含加熱功能，最高加熱溫度300攝氏度，控溫精度±1度，顯示精度0.1度，

  有效區(qū)域內(nèi)溫度均衡性±5度。
  

  • 可選配制冷功能，最低溫度-130攝氏度（真空環(huán)境下）。
    
  • 具備快速冷功能，配置水冷卻接口，可連接冷水機(jī)實(shí)現(xiàn)快速降溫的功能。