單晶爐波紋管|真空補(bǔ)償器|真空波紋管|壽命長(zhǎng) 單晶爐波紋管產(chǎn)品說(shuō)明： ? ? 單晶爐的爐底固定在機(jī)架上平面，其中心孔是坩堝軸的找正基準(zhǔn)，坩堝軸為兩段組裝空*冷結(jié)構(gòu)，在軸的下部設(shè)有一水套可以引入冷卻水。
坩堝軸的旋轉(zhuǎn)密封采用磁流體密封，升降密封采用焊接波紋管密封。
單晶爐波紋管技術(shù)指標(biāo)： 1，真空漏率：1*10-4Pa·L/S~1* 10-11Pa·L/S； 2，使用溫度： -251~450 ℃； 3，壓 縮比：80%； 4，使用壽命：10~100萬(wàn)次； 5，材質(zhì)：SUS 316L or AM350 or Hastelloy C； 6，尺寸：可根據(jù)客戶(hù)具體要求設(shè)計(jì)尺寸。
用 ? ? 途：主要用于晶體生長(zhǎng)爐。
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