非晶硅電池一般采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor De*ition--等離子增強型化學(xué)氣相沉積)方法使高純*等氣體分解沉積而成的。
此種制作工藝，可以在生產(chǎn)中連續(xù)在多個真空沉積室完成，以實現(xiàn)大批量生產(chǎn)。
由于沉積分解溫度低，可在玻璃、不銹鋼板、陶瓷板、柔性塑料片上沉積薄膜，易于大面積化生產(chǎn)，成本較低。
在玻璃襯底上制備的非晶硅基太陽能電池的結(jié)構(gòu)為:Glass/TCO/p-a-SiC:H/i-a-Si:H/n-a-Si:H/Al，在不銹鋼襯底上制備的非晶硅基太陽能電池的結(jié)構(gòu)為:SS/ZnO/n-a-Si:H/i-a-Si(Ge):H/p-na-Si:H/ITO/Al。
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