碳化硅作為一種常見的工業(yè)磨料,嚴格講是一種半導(dǎo)體材料,其電學(xué)性質(zhì)屬雜質(zhì)導(dǎo)電性,電阻率在10ˉ2~1012Ω·㎝之間。
其導(dǎo)電性能隨碳化硅晶體中引入雜質(zhì)的種類和數(shù)量的不同而變化,碳化硅根據(jù)其含雜質(zhì)不同,導(dǎo)電性能也不同。
其中對碳化硅導(dǎo)電性影響*的雜質(zhì)是鋁,氮和硼,含鋁較多的碳化硅導(dǎo)電性顯著增大。
碳化硅的導(dǎo)電性隨電場強度的增大而迅速提高,且具有非線性變化的特點。
碳化硅的電阻率隨溫度的變化而改變,但在一定的溫度范圍內(nèi)與金屬的電阻溫度特性剛好相反,高純度碳化硅會隨著溫度的升高而電阻率下降。
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