隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展，特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大，線寬尺寸從微米級(jí)進(jìn)人到亞微米(小于1um)級(jí)以及深亞微米(小于0.18um)級(jí)，這樣，對(duì)半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高，對(duì)這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格，已達(dá)到ppb、ppt級(jí)，塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒，因此對(duì)超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。
特種氣體指出，工藝氣體中的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體制造的整個(gè)過程都有影響。
如高溫處理中，重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散，誘發(fā)結(jié)晶缺陷，是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。
腐蝕工序中，由于微粒附著在硅片處，將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中，堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常，引起耐壓性差或電氣特性劣化。
特種氣體指出，由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染，將很難通過吹掃污染物，往往是更換掉被污染的管路，由于該系統(tǒng)造價(jià)昂貴，湖北特種氣體，這樣造成的損失將很大，因此，超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對(duì)其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。
隨著我國(guó)工業(yè)的發(fā)展和改革開放的不斷深入，主要跨國(guó)氣體公司都紛紛進(jìn)入中國(guó)，美國(guó)空氣化工、法國(guó)液化空氣、德國(guó)林德、普萊克斯、日本大陽日酸、日商巖谷氣體公司等已占領(lǐng)我國(guó)部分特氣市場(chǎng)，尤其是電子氣體市場(chǎng)，合資和獨(dú)資的半導(dǎo)體集成電路企業(yè)生產(chǎn)工藝中所使用的電子氣體被這些國(guó)外氣體公司所壟斷，這與半導(dǎo)體集成電路對(duì)氣體質(zhì)量、供應(yīng)的特殊要求有關(guān)。
工業(yè)氣體種類繁多，經(jīng)常用于各種工業(yè)制造方面。
而在存放和使用方面，特種氣體廠家，因?yàn)槎际峭ㄟ^壓縮來處理的，所以對(duì)于它們的保障措施一定要做好。
首先在使用之前要做好檢查工作，對(duì)于氣瓶應(yīng)該進(jìn)行狀況檢測(cè)，包括外觀、附件、使用年限和檢驗(yàn)標(biāo)志等等。
在存放時(shí)，還要注意檢查檢驗(yàn)日期，特種氣體價(jià)格，鋼印和有效期等，工業(yè)氣瓶的防震圈也是要查看的，至少保證無裂痕。
存放時(shí)，因?yàn)楣I(yè)氣體一般都具有、有毒等特性，所以存放場(chǎng)所應(yīng)該有一定的防護(hù)措施，夏季要防止暴曬，室外要注意這樣和遮雨，可以使用倉(cāng)庫(kù)。
對(duì)于存放空間里的照明燈具等要具有防爆特性，電源開關(guān)和熔斷器等應(yīng)該設(shè)置的室外，電子特種氣體，同時(shí)要安裝避雷設(shè)施。
工業(yè)氣體存放場(chǎng)所要通風(fēng)、干燥，避免雨淋日曬，嚴(yán)禁明火和其他熱源，不能有任何管線通過。
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