???產(chǎn)品名稱:?四氟化碳 其他名稱:?*、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride 分子式:?CF4 UN No.?UN1956 No.?75-73-0 產(chǎn)品純度:99.99~99.999%? 包裝說明:?47L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材質(zhì)閥門,閥門型號CGA660;40L高壓無縫鋼瓶,凈重30kg/瓶,瓶頭閥是銅質(zhì)閥門是QF-2,出口螺紋是G5/8 產(chǎn)品說明:?四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量*的等離子蝕刻氣體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制*火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚*甲酸*。
? 注意事項:?四氟化碳是不燃性壓縮氣體。
儲存于陰涼、通風(fēng)倉間內(nèi)。
倉內(nèi)溫度不宜超過60℃。
遠(yuǎn)離火種、熱源。
防止陽光直射。
應(yīng)與易燃或可燃物分開存放。
驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,*倉的先發(fā)用。
搬運(yùn)四氟化碳時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。
泄漏時,應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。
建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。
盡可能切斷泄漏源。
合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。
如有可能,即時使用。
漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗后再用。
? 四氟化碳的物理化學(xué)性質(zhì)? 分子量:88.005? 熔點(diǎn)(101.325kPa):????-186.8℃? 沸點(diǎn)(101.325kPa):????-128.0℃? 液體密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m3? 氣體密度(0℃,101.325kPa):????3.946 kg/m3? 相對密度(氣體,0℃,101.325kPa):??3.05? 氣液容積比(15℃,100kPa):436 L/L? 比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg? 臨界溫度:????-45.6℃? 臨界壓力:????3739kPa? 臨界密度:????629kg/m3? 壓縮系數(shù):? 溫度℃ 壓縮系數(shù) 100kPa 1000kPa 5000kPa 10000kPa 1 5 0.9981 0.9763 0.7832 0.6058 50 0.9988 0.9866 0.8717 0.7637 ? 熔化熱(-186.8℃):????7.609 kJ/kg? 氣化熱(-127.94℃,101.325kPa):??135.65 kJ/kg? 比熱容(氣體,25℃,101.325kPa):Cp=696 J/(kg·K)? ????????????????????????????????Cv=602J/(kg·K)? 比熱比(氣體,25℃,101.325kPa):Cp/Cv=1.157? 蒸氣壓(-180.65 C):0.20 kPa? ?????????????(-120℃):????165 kPa? ??????????????(-50℃):????3220 kPa? 粘度(101.325kPa,0℃,氣體):0.0161 mPa·S? ????????????????(-60.0℃,液體):0.170 mPa·S? 表面張力(-80.0℃):????6.4 mN/m? 導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa,0℃):0.01503 w/(m·K)? ????????????(液體,-60.0℃):0.07196 w/(m·K)? 折射率(-73℃):????1.151? 四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。
空氣中不燃燒,是比較穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。
但是在高溫時,或與可燃?xì)怏w一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。
在1000℃以上能與*形成*。
微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。
有輕微的水解作用。
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