NIE-3500（M）離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述：該系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢(shì)。
所有核心組件均為。
NIE-3500（M）離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)： 低成本 離子束：高達(dá)2KV/10mA 離子電流密度100-360uA/cm2 離子束直徑：4",5",6" 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2) 極限真空5x10-7Torr 260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500) 自動(dòng)上下載片（NIE-3500） 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制 占地面積30"x30" 產(chǎn)品應(yīng)用： 表面清洗 表面處理 離子銑 帶活性氣體的離子束刻蝕 光柵刻蝕 SiO2，Si和金屬的深槽刻蝕 標(biāo)簽： 硅片清洗... 離子源清... Ion ... 離子束清... 晶圓清洗... ? 硅片清洗設(shè)備 離子源清洗 Ion Beam 離子束清洗系統(tǒng) 晶圓清洗設(shè)備 晶圓清洗機(jī) ? 上海市離子束清洗 ? 上海市離子束清洗廠家
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