? ? ?廣州市尤特新材料有限公司是一家扎根于電子信息材料行業(yè)的高新技術(shù)企業(yè)，以生產(chǎn)信息存儲記錄材料為起點(diǎn)，順延產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的方向，深耕產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的潛力，經(jīng)過11年的開拓已發(fā)展成為擁有電子漿料（金屬鍍膜技術(shù)）、金屬薄膜靶材（真空鍍膜靶材技術(shù)）信息存儲記錄材料（激光讀寫光盤生產(chǎn)技術(shù)）、工程塑料（PC再生造粒及改性技術(shù)）、觸控顯示材料（手機(jī)、平板觸摸屏材料）、石墨烯材料（導(dǎo)電、散熱）、UV化工材料（UV油墨、UV電子膠粘劑）這七大核心技術(shù)為中心的產(chǎn)業(yè)集團(tuán)。
? ? ??濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高，一般要求如，尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制；較高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物（氧化物）含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。
磁控濺射鍍膜是一種新型的物理-氣相鍍膜方式，就是用電子系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。
這種被鍍的材料就叫濺射靶材。
濺射靶材有金屬，金屬靶材公司，合金，陶瓷，硼化物等。
? ? 廣州市尤特新材料有限公司是一家扎根于電子信息材料行業(yè)的高新技術(shù)企業(yè)，以生產(chǎn)信息存儲記錄材料為起點(diǎn)，順延產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的方向，安慶金屬靶材，深耕產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的潛力，經(jīng)過11年的開拓已發(fā)展成為擁有電子漿料、金屬薄膜靶材信息存儲記錄材料、工程塑料、觸控顯示材料、石墨烯材料、UV化工材料這七大核心技術(shù)為中心的產(chǎn)業(yè)集團(tuán)。
????也有人采用射頻濺射技術(shù)以Ti為靶材制備TiO2薄膜。
射頻濺射時采用的氣氛為O2和Ar的混合氣體，通過控制壓力控制所得薄膜的相態(tài);對于一些特殊基體，稀土金屬靶材，還要考慮薄膜與基體之間的附著性能，金屬靶材，根據(jù)基體的性質(zhì)采取相應(yīng)的工藝;實(shí)際生產(chǎn)中，在低成本前提下大規(guī)模鍍膜，要求較高的沉積速率，射頻濺射沉積速率很低，不適合大規(guī)模生產(chǎn)。
????與以Ti為靶材相比，以TiO2為靶材，可將復(fù)雜的反應(yīng)過程轉(zhuǎn)化為較簡單的物理過程。
TiO2靶材通常導(dǎo)電性很差，由于一定的濺射速率需要一定的工作電流，若用直流濺射，則需大幅度提高直流濺射電源的電壓來彌補(bǔ)靶材導(dǎo)電性不足引起的電壓降。
射頻濺射對靶材的導(dǎo)電性沒有要求，適用于各種金屬和非金屬材料，因此，射頻濺射法的應(yīng)用比較廣泛。
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