濺射靶材? ? ??北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,金屬靶材公司,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供*的靶材和蒸發(fā)料。
公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。
? ? ??鋁靶材的分類:? ? ??鋁靶材有平面鋁靶材和旋轉(zhuǎn)鋁靶材之分平面鋁靶材是片狀的,有圓形、方形等。
旋轉(zhuǎn)鋁靶材是管狀的,利用效率高,但不易加工,要通過高純鋁擠壓、拉伸、校直熱處理,機加工等多種加工工序才能最終制得鋁旋轉(zhuǎn)靶材成品。
? ? ??鋁靶材的生產(chǎn)方法:1、鋁的生產(chǎn)和提純[2] ?:鋁是從鋁土礦中提取Al2O3,再在熔融冰晶石中電解而得到的,金屬靶材,純度一般在99%以上,但這樣純度的鋁根本無法作為生產(chǎn)鋁靶材的原材料,鋁靶材對鋁材的第1個要求也是最重要的要求就是純度要高,鋁靶材所用的高純鋁是再經(jīng)過偏析法、三層電解法或聯(lián)合區(qū)域熔煉法生產(chǎn)而成的,價格要比工業(yè)純鋁99.7貴很多,目前國內(nèi)高純度在99.9999%(6N)左右。
2、鋁靶材的變形處理:有了高純度鋁錠作為原材料,對原材料進行鍛造、軋制、熱處理等,使鋁錠內(nèi)晶粒變細小、致密度增加以滿足濺射所需鋁靶材的要求。
3、對變形處理后的高純度鋁材料進行機械加工,高純金屬靶材,鋁靶材加工要求精度高、表面質(zhì)量高,加工成真空鍍膜機所需的靶材尺寸就可以了,鋁靶材與鍍膜機多以螺紋相連接。
石久高研專注15年提供高純金屬靶材 ?*、高純靶材歡迎來電咨詢~~~ 濺射靶材使用指南及注意事項? ? ??北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年,稀土金屬靶材, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供*的靶材和蒸發(fā)料。
公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。
? ? ? 濺射靶材保持真空腔體尤其是濺射系統(tǒng)潔凈是非常重要的。
任何由潤滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會收集水氣及其他污染物,直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。
短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化學雜質(zhì)含量超標經(jīng)常是由于不潔凈的濺射室、濺射*和靶材引起的。
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