? ? ?廣州市尤特新材料有限公司是一家扎根于電子信息材料行業(yè)的高新技術(shù)企業(yè)，以生產(chǎn)信息存儲記錄材料為起點，順延產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的方向，深耕產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的潛力，經(jīng)過11年的開拓已發(fā)展成為擁有電子漿料（金屬鍍膜技術(shù)）、金屬薄膜靶材（真空鍍膜靶材技術(shù)）信息存儲記錄材料（激光讀寫光盤生產(chǎn)技術(shù)）、工程塑料（PC再生造粒及改性技術(shù)）、觸控顯示材料（手機、平板觸摸屏材料）、石墨烯材料（導(dǎo)電、散熱）、UV化工材料（UV油墨、UV電子膠粘劑）這七大核心技術(shù)為中心的產(chǎn)業(yè)集團。
? ? ? 鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。
簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武1器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。
例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜、鋁膜等。
更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
? ? 廣州市尤特新材料有限公司是一家扎根于電子信息材料行業(yè)的高新技術(shù)企業(yè)，以生產(chǎn)信息存儲記錄材料為起點，茂名合金靶材，順延產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的方向，深耕產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用的潛力，鈦鎢合金靶材，經(jīng)過11年的開拓已發(fā)展成為擁有電子漿料、金屬薄膜靶材信息存儲記錄材料、工程塑料、觸控顯示材料、石墨烯材料、UV化工材料這七大核心技術(shù)為中心的產(chǎn)業(yè)集團。
????也有人采用射頻濺射技術(shù)以Ti為靶材制備TiO2薄膜。
射頻濺射時采用的氣氛為O2和Ar的混合氣體，通過控制壓力控制所得薄膜的相態(tài);對于一些特殊基體，稀土合金靶材，還要考慮薄膜與基體之間的附著性能，根據(jù)基體的性質(zhì)采取相應(yīng)的工藝;實際生產(chǎn)中，在低成本前提下大規(guī)模鍍膜，要求較高的沉積速率，射頻濺射沉積速率很低，鈦合金靶材，不適合大規(guī)模生產(chǎn)。
????與以Ti為靶材相比，以TiO2為靶材，可將復(fù)雜的反應(yīng)過程轉(zhuǎn)化為較簡單的物理過程。
TiO2靶材通常導(dǎo)電性很差，由于一定的濺射速率需要一定的工作電流，若用直流濺射，則需大幅度提高直流濺射電源的電壓來彌補靶材導(dǎo)電性不足引起的電壓降。
射頻濺射對靶材的導(dǎo)電性沒有要求，適用于各種金屬和非金屬材料，因此，射頻濺射法的應(yīng)用比較廣泛。
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